详细介绍
CW400LT-8″大平台无穷远芯片检查显微镜是适用于半导体晶圆的检验、芯片封装、电路基板、材料等行业的理想仪器。可进行偏光与明视场观察转换。配置大视野目镜和长距平场消色差物镜(无盖玻片),视场大而清晰。专门设计的大移动范围载物台,围:8"×8(204mm×204mm),满足半导体行业的需求。粗微动同轴调焦机构,粗动松紧可调,带限位锁紧装置,微动格值:0.7μm。三目镜筒,可进行100%透光摄影。
技术指标:
目镜筒 | 三目镜,转轴式,倾斜30度、360°旋转 |
目镜 | 大视野 WF10X/22mm |
无穷远长工作距离平场消色差物镜 | PL L5X/0.12工作距离 | 26.1 mm |
PL L10X/0.25工作距离 | 20.2 mm |
PL L20X/0.40工作距离 | 8.8 mm |
PL L50X/0.70(弹簧工作距离 | 3.68 mm |
PL L80X/0.8(弹簧)工作距离 | 1.25 mm |
转换器 | 内向式滚珠内定位五孔转换器 |
总放大倍数 | 50X-800X |
聚焦镜 | 可调式阿贝聚焦镜NA1.25,孔径光阑,滤色片 |
大工作台 | 三层机械移动式,尺寸:280mmX270mm,移动范围(X*Y):204mmX204mm |
调 焦 | 粗微动同轴调焦,升级范围25mm,微动格值:0.7μm,带锁紧和限位装置 |
落射照明系统 | 柯勒照明,落射照明6V30W,卤素灯亮度可调,内置式视场光阑、孔径光阑(黄、蓝、绿、磨砂玻璃)滤色片转换装置,推拉式检偏器与起偏器 |
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