测量范围 | Z轴(垂直) | 640μm (-320μm~320μm) / 25200μin (-12600μin~+12600μin) |
X轴(水平) | 17.5mm（0.69 inch） |
分辨率 | Z轴（垂直） | 0.002μm/±20μm | 0.004μm/±40μm |
0.008μm/±80μm | 0.020μm/±160μm |
0.040um/±320um |
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测量项目 | 参数 | Ra Rz Rq Rt Rc Rp Rv R3z R3y Rz(JIS) Ry Rs Rsk Rku Rmax Rsm Rmr RPc Rk Rpk Rvk Mr1 Mr2 |
标准 | ISO4287国际标准；ANSI B46.1美国标准；DIN4768德国标准；JIS B601日本标准 |
图形 | 支承率曲线，粗糙度 原始轮廓，滤波波形 |
滤波器 | RC,PC-RC,Gauss,D-P |
取样长度(lr) | 0.25,0.8,2.5mm |
评定长度（ln） | Ln= lr×n n=1~5 |
传感器 | 测量原理 | 位移式差动电感 |
触针 | 天然金刚石，90锥角，5μm针尖半径 |
测力 | 触针测力：4mN；导头测力：<400mN |
导头 | 硬质合金，滑行方向半径40mm |
滑行速度 | lr=0.25, Vt=0.135mm/s lr=0.8, Vt=0. 5mm/s |
lr=2. 5, Vt=1mm/s 返回 Vt=1mm/s |
示值精度 | 0.001μm |
示值误差 | ±(5nm+0.1A) A:多刻线样板参数Ra的标准值 |
示值重复性（变动性） | 不大于3% |
残余轮廓 | 不大于0.010μm |
电源及充电电压 | 3600mAh锂离子电池， |
主机外形尺寸 | 155×145×58mm |
驱动器外形尺寸 | 23×27×115mm |
支架可调高度 | 40mm |
重量 | 约1000g |
工作环境 | 温度：- 20℃ ~ 40℃ 湿度：< 90% RH |
储存运输环境 | 温度：- 40℃ ~ 60℃ 湿度：< 90% RH |
可选配件 | 磁性表座、表座连接块、高度尺、高度尺连接块，曲面传感器、小孔传感器、深槽传感器、极小孔传感器、延长杆、转接杆、微型打印机、200mm测量平台、300mm大理石测量平台，数传处理软件，手机APP |
